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电容式微咪头原理

澳士堡 2020-03-23 15:13 阅读:-

电容式微咪头原理

  MEMS 咪头是一种微型的传感器。其原理是利用声音变化产生的力梯度使电容式微咪头的声学振 膜受声压干扰而产生形变,进而改变学振膜与硅背极板之间的电容值。

  该电容值的变化由电容电压转换 电路转化为电压值的输出变化, MEMS 传感器产生得到电压放大输出, 从而将声压信号 转化成电压信号。在此必须采用一个高阻抗的电阻为 MEMS 传感器提供一个偏置电压 VPP ,借以在 MEM S 传感器上产生固定电荷, 最后的输出电压将与 VPP 及振膜的形变 ? d 成正比。

  振膜的形变与其刚性有关, 刚性越低则形变越大;另一方面,输出电压与 d(气隙 )成反比,因此气隙越低,则输出电压及灵敏度越优, 但这都将受限于 MEMS 传感器的吸合电压,也就是受限于 MEMS 传感器静电场的最大极限值


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